PNG  IHDR+8ctEXtmxfile%3Cmxfile%20host%3D%22app.diagrams.net%22%20agent%3D%22Mozilla%2F5.0%20(Macintosh%3B%20Intel%20Mac%20OS%20X%2010_15_7)%20AppleWebKit%2F537.36%20(KHTML%2C%20like%20Gecko)%20Chrome%2F142.0.0.0%20Safari%2F537.36%22%20version%3D%2229.2.6%22%20scale%3D%221%22%20border%3D%220%22%3E%0A%20%20%3Cdiagram%20name%3D%22Page-1%22%20id%3D%22WwwyGOugE555A1_t35__%22%3E%0A%20%20%20%20%3CmxGraphModel%20dx%3D%223739%22%20dy%3D%221154%22%20grid%3D%221%22%20gridSize%3D%2210%22%20guides%3D%221%22%20tooltips%3D%221%22%20connect%3D%221%22%20arrows%3D%221%22%20fold%3D%221%22%20page%3D%221%22%20pageScale%3D%221%22%20pageWidth%3D%22850%22%20pageHeight%3D%221100%22%20math%3D%220%22%20shadow%3D%220%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%3Croot%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%220%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%221%22%20parent%3D%220%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%222%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22text%3Bhtml%3D1%3Balign%3Dcenter%3BverticalAlign%3Dmiddle%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Brounded%3D0%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BFrom%20previous%20layer%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2216%22%20width%3D%22164%22%20x%3D%2278%22%20y%3D%22670%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%223%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%224%22%20style%3D%22edgeStyle%3DorthogonalEdgeStyle%3Brounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%229%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%224%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BSelf-Attention%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2226%22%20width%3D%22116%22%20x%3D%22102%22%20y%3D%22613%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%225%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%222%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22160%22%20y%3D%22717%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22160%22%20y%3D%22637%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%226%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22edgeStyle%3DorthogonalEdgeStyle%3Brounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%229%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CArray%20as%3D%22points%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22160%22%20y%3D%22660%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%2240%22%20y%3D%22660%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%2240%22%20y%3D%22590%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FArray%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22160%22%20y%3D%22650%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%227%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%229%22%20style%3D%22edgeStyle%3DorthogonalEdgeStyle%3Brounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0%3BexitY%3D0.5%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0%3BentryY%3D0.5%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2231%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CArray%20as%3D%22points%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22-86%22%20y%3D%22580%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22-86%22%20y%3D%22210%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22143%22%20y%3D%22210%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22143%22%20y%3D%22211%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FArray%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22154%22%20y%3D%22590.0000000000002%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22143%22%20y%3D%22231%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%228%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%229%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2236%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%229%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22ellipse%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3Baspect%3Dfixed%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2024px%3B%26quot%3B%26gt%3B%2B%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2220%22%20width%3D%2220%22%20x%3D%22150%22%20y%3D%22570%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2210%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2211%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2236%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2211%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BRouter%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2230%22%20width%3D%22120%22%20x%3D%22200%22%20y%3D%22520%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2212%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%229%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%20target%3D%2211%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22170%22%20y%3D%22580%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22220%22%20y%3D%22530%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2213%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2238%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3BentryX%3D0%3BentryY%3D0.5%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22-6%22%20y%3D%22331%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22149%22%20y%3D%22251%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2214%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BSE%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2240%22%20width%3D%2260%22%20x%3D%22-66%22%20y%3D%22331%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2215%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BE1%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2240%22%20width%3D%2260%22%20x%3D%2224%22%20y%3D%22331%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2216%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2217%22%20style%3D%22edgeStyle%3DorthogonalEdgeStyle%3Brounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2228%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2217%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3BfillStyle%3Dhatch%3BfillColor%3D%23000000%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BE2%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2240%22%20width%3D%2260%22%20x%3D%2294%22%20y%3D%22331%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2218%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2219%22%20style%3D%22edgeStyle%3DorthogonalEdgeStyle%3Brounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2229%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2219%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3BfillStyle%3Dhatch%3BfillColor%3D%23000000%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BE3%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2240%22%20width%3D%2260%22%20x%3D%22164%22%20y%3D%22331%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2220%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BE4%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2240%22%20width%3D%2260%22%20x%3D%22234%22%20y%3D%22331%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2221%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22edgeStyle%3DorthogonalEdgeStyle%3Brounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D1%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22124%22%20y%3D%22411%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22124%22%20y%3D%22411%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2222%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22edgeStyle%3DorthogonalEdgeStyle%3Brounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D1%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22124%22%20y%3D%22411%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22124%22%20y%3D%22411%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2223%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%229%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%20target%3D%2214%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22160%22%20y%3D%22470%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22210%22%20y%3D%22420%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2224%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22edgeStyle%3DorthogonalEdgeStyle%3Brounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2231%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22159%22%20y%3D%22241%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2225%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2240%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3Bdashed%3D1%3BentryX%3D1%3BentryY%3D0.5%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3BstartSize%3D6%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%20target%3D%2228%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22250%22%20y%3D%22450%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22167.5%22%20y%3D%22320%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2226%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2241%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3Bdashed%3D1%3BentryX%3D1%3BentryY%3D0.5%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%20target%3D%2229%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22267.5%22%20y%3D%22380%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22240%22%20y%3D%22220%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2227%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2228%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2238%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22152.47060377927642%22%20y%3D%22258.5740996160396%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2228%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22ellipse%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3Baspect%3Dfixed%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2024px%3B%26quot%3B%26gt%3Bx%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2220%22%20width%3D%2220%22%20x%3D%22114%22%20y%3D%22281%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2229%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22ellipse%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3Baspect%3Dfixed%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2024px%3B%26quot%3B%26gt%3Bx%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2220%22%20width%3D%2220%22%20x%3D%22184%22%20y%3D%22281%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2230%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2229%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BorthogonalLoop%3D1%3BjettySize%3Dauto%3Bhtml%3D1%3BexitX%3D0%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2238%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20relative%3D%221%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22169%22%20y%3D%22251%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2231%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22ellipse%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3Baspect%3Dfixed%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2024px%3B%26quot%3B%26gt%3B%2B%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2220%22%20width%3D%2220%22%20x%3D%22149%22%20y%3D%22201%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2232%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2236%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3B%22%20target%3D%2217%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22159%22%20y%3D%22401%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22294%22%20y%3D%22311%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2233%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2236%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.584%3BentryY%3D0.986%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3BentryPerimeter%3D0%3B%22%20target%3D%2219%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22159%22%20y%3D%22401%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22294%22%20y%3D%22311%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2234%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2231%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2235%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22124%22%20y%3D%22201%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22124%22%20y%3D%22161%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2235%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22text%3Bhtml%3D1%3Balign%3Dcenter%3BverticalAlign%3Dmiddle%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Brounded%3D0%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BTo%20next%20layer%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2224%22%20width%3D%22160%22%20x%3D%2279%22%20y%3D%22154%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2236%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3BfillColor%3D%23FFFFFF%3BstrokeColor%3D%23000000%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BAll-to-All%20dispatch%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2230%22%20width%3D%22150%22%20x%3D%2284%22%20y%3D%22436%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2237%22%20edge%3D%221%22%20parent%3D%221%22%20source%3D%2214%22%20style%3D%22endArrow%3Dclassic%3Bhtml%3D1%3Brounded%3D0%3BexitX%3D0.5%3BexitY%3D0%3BexitDx%3D0%3BexitDy%3D0%3BentryX%3D0.5%3BentryY%3D1%3BentryDx%3D0%3BentryDy%3D0%3B%22%20target%3D%2231%22%20value%3D%22%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2250%22%20relative%3D%221%22%20width%3D%2250%22%20as%3D%22geometry%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22-36%22%20y%3D%22331%22%20as%3D%22sourcePoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxPoint%20x%3D%22140%22%20y%3D%22210%22%20as%3D%22targetPoint%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxGeometry%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2238%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3BfillColor%3D%23FFFFFF%3BstrokeColor%3D%23000000%3B%22%20value%3D%22%26lt%3Bfont%20style%3D%26quot%3Bfont-size%3A%2018px%3B%26quot%3B%26gt%3BAll-to-All%20combine%26lt%3B%2Ffont%26gt%3B%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2230%22%20width%3D%22150%22%20x%3D%2284%22%20y%3D%22240%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2239%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3B%22%20value%3D%22%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2210%22%20width%3D%2210%22%20x%3D%22280%22%20y%3D%22510%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2240%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3BfontStyle%3D1%3BfillStyle%3Dhatch%3BfillColor%3D%23000000%3B%22%20value%3D%22%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2230%22%20width%3D%2210%22%20x%3D%22290%22%20y%3D%22490%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2241%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3BfontStyle%3D1%3BfillStyle%3Dhatch%3BfillColor%3D%23000000%3B%22%20value%3D%22%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2240%22%20width%3D%2210%22%20x%3D%22300%22%20y%3D%22480%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxCell%20id%3D%2242%22%20parent%3D%221%22%20style%3D%22rounded%3D0%3BwhiteSpace%3Dwrap%3Bhtml%3D1%3BfontStyle%3D1%22%20value%3D%22%22%20vertex%3D%221%22%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%20%20%3CmxGeometry%20height%3D%2220%22%20width%3D%2210%22%20x%3D%22310%22%20y%3D%22500%22%20as%3D%22geometry%22%20%2F%3E%0A%20%20%20%20%20%20%20%20%3C%2FmxCell%3E%0A%20%20%20%20%20%20%3C%2Froot%3E%0A%20%20%20%20%3C%2FmxGraphModel%3E%0A%20%20%3C%2Fdiagram%3E%0A%3C%2Fmxfile%3E%0A IDATx ǿBٲTK6IOIGJJ6PV*))DddhQډK"y6>.3չ3s3=G)"(D?E@PE (dlz"x2V("`#c#GE@POJ<«E@P"PDD8 ,pI'E7|#q=~qh" J<ɠy@6ҥtMpy5>P]vϘ1cCo6(*9OHmwiF  guy8;vhGP#MUB`ʕrgJʕes=tg&K.#GԨQC6l(&M*Q믿ZjQG%zM6͚5KN?t6mZ(KZl)\q-ڵZI/_.5k֔c=VgٯzC5ߛxj-=C뮻ӽ{w1z%;gKҠAywk׮Ҷm[Yx@˗/k&gϖN8AxviKϞ=C>@֭+>x&?l+V !krM:G+Ch{キ.& }y"?ϗf͚ 8Ν+rFD*U|O>z)DCƅ ?/z!=؃h E@'7N bX1bL0A^}U)WѣTWZ%4/X,h3vg}&oq2eS! 2vuWO?z"qƌk6d5z뭒L7̙3eO>DƏ/~t iЭ;`AY%}P>+?_g1AɴeѣM7$@મ+AdiԨPNsassJ2"]3@NX6m" Ij&C?tr-H퍫5cMXVNUA:#V\'۞>Zhe5I=!ēc7T=tѥ97 Xomxɒ%{[n*WVKdFƌx^Æ 3A_x 0j)?~nn!޶zV*L::y|뭷DX;n6.D1+5!'˲Į8;$F@[Ad%c58aKzBn77kMJ2D5{?Zz8˲uj’rD7;H#q=(F@N rκudС9&m;(񸃣RT"p1 5(񸉦R,["c\Bz(mF*"mW1xrjsxMtMS2O&P: 6jG5(@@' Ե"$X}#l ē ԵNE DZ9VGsxVNu(E qxJs*D u+>TOn*$mݰ/sE :dCC-X5Pl!8 @&P$Z"a7n,NAAAX]w@@, ēеJE SNJ!(xpE@PHx"kE@POx>("3x|vCTE@Pr%\ھ@!*O>em"(>B@G7CUQE Hx m"(@FPZ"(\"&JSt (xW21h w L>S L@(Ue]vs 'ݰ(Gy$SV?jǻ:)) 0x`3fLLYt,X@~Ǩ!#'jT\B@% U"EEE2lذ*۸qm+#{b#y13i"&J쳰$L LL?A/(xTe*@@2㣀p~P2VK*UV^m[hOޤqA%/P f=SfMYjUHUJ5BٲeM:D$ dEx<UE*n# #M87n,Neɒ%[3qd'|DZӦMM?A/PUN,±iӦ̚5˾L%$ kD@M4U"X7x6l(tL0!^R(䕚Y3()"ē"pZLÇ~ŋSRrGNJ" J< l"BVZ2m49s&HrGNH( *R:u#F]et9X|Wvmg#?((xTJx~r7 9 xG~ʑؠ%*UTH o媫={ nZ*T`X\vee:uqİ\ *E*\[ֿȱ.ra?t$ϲedܸq85(B@sE{pfb)}J *-+^"%*[0P=J !G5(B@'[klݺU $3fԱاcz( װ篿*~ VPy+8h;O0jDEǁSN9EpxdرךY`}v6lXص^(B@5(C`ѢEҾ}{2e[fΜ)u ե!Fz(D@'`kU@|f~NVQFJIDAT˖-tj _~YdtzNE (dmKHV`gw68L%! ±#@JA/Pb@Hӧˉ'(~\RnqOz$D慀"Z%V@Bڼy 0[R!_("~z+dС!s*U"Qx2 VF6ds17xC:w(E@'7N-nvq`֭q`Ȑ!qI@P S?.-ZW_}U˙8qTR%R(GSO`aݻ< 4. 7omS}!yf0`4kL=PsM6SRD@KtU"@`ԨQRzun8N߾}zJ}svi€?%ڎ^{M̙#dsȌ3 r)2k,[鎼Mx^ժU}z}KN!O8X?={|xB~Χ!ē9,  /'^JB7o_ѵ^k^[cǎɠO>}…2ba7v-W'iKq+*ً- P!"0'v`y`,]T ,>!p xšGHz=kF믰΋UV7֦-k;_>7|S2ep_4hMD@'`fUnO?-_}\p!Enev9\9V^pt9qBx =^[l1dË}զKN袋} dAJ*I95 ސ9uVvZ.CEҸq+8@f6m GTRtti|f ěݠXQ[n-D@'hk]G`N>#2#k"W֭[-n u1Q6ld0gƍ&sOeر+vWTUfzw69~㷠xxsB>;@gNҥ8UO>e5D USOmꪫ0l0lٲЗ>9vuר%wCB58^tDX%d;E^Dasv^'zN;f2F@!d CqOcE\Q!1xIsOGgx'MzE* jsZp4ۊq7_/rX^s0q5o`O?5`#Lx pqOp8C&I 'a,Yq% k(2ME@[|!=ۉ4ܘyFB }G f\eCɓ'y:X3 citM,| k[n3M#СCy)sL-.0k_2эF7+zx1u_|QKG~":h(Dcr,B6mL4_$şO?]bp?~K0ռ8y3ϤթS MM?o^ ~X:XbiMJ15m<:,WYֈLBZ Hܺq{i϶5kFMBfu %T1B5da^yŏ1keC 1r =^@zy;(!z15$W[Dہ]#ui̵ wsɪ>+X|w%r\GIm䜀ݰaÌ[ /`p1eECP0ZM6xٞX\c+>2Γ#-0/<ˊ"T;X]m\pfM mv[K%ıҜ>B/VGj*"J< ,ZGbvuי!X[%KP_Q*G>Z4"d%¯'s0XW ̻aG\})y(p< V<-&@^"ēߍf`4h@ʀVE QxEJDsfq-s 'j-2+#[-K11H7ѾJ"`w뮂ҪUE&% 'B8D8"^*"y)U%Dqa36f [o6 b[3ҭ[-zWXQp a hv;L2~ԡē;2+-a /t\|BO _*}ץo߾D˛|8rM;qI Q'XMPmFmm&gus=A>H]vs M2:rի՜@闼O|&=ʸ'J%x*lJ~yo駟kL=6$RTT$`Ezf31tP;ta9*n#>-\t,T($caqXpX ?j Ř#<"cǎ 'h{ˆxY|tLTpx)Ssxb|Нw5t"|B;hOdHtA€7k6 YҞM~駨hYB Qwٌ 6q4iXMWsKXu@Y'V !ҩS'Yafȼ5rWPP`GIaa !A{"L?$ aRٮtm= %rW"8-,˿8iT2U\X()B ȉJΕxu֖ˏ8={LfL  cet%V\)^{+=8ʊ|wx P9c,hs(((^lƄTh]¶\|\'8*!M>Gyi 0SfL1MǓO>ٸR e 2E@'ǭHf̈́ 伸4W@(d9O'DHGxTtbtǭS=E@SxSNLn /KԒF k<:H" ԮDۙx|vWgϞ-|ɱy… wT򙚪ND~G^' "nDyu|"(0жm[aʁ=#JWAA W|TE['Vcŧ?J h^ K)qnK\,:jQS0|93eΜ92zh4iT^=hU@ p"_^OHWW%{J\K쒸@|AQJ<.)i߾ֻwoh:u\b(((|%CLsg$7O+>[pxge˖nV˟1(%.D~Ϋē-fDqv}w3gϞiHӢ3oU"J<)7c 9eݺu; 7 ʕKAQ@֏gYV60-SI,ЪU+3~w}r衇&!A*Ap c՘o\J< aaC ;Λ7x%PT(@p>c=7A!W )͓Y >ZVjV袋֭@YJ'eд'(Āo6ol #F+@G_WO~ǥEl=yRJ\zd'AJQ-[L.B0ay~A-,X Æ ˭FȖPJ6MyO9ڛ ҅=ǨQ~8mӧUV`\sA:3{lnڵh"1b+"!xg*F!Wă@۶m8ps=rQGE U^.>h+!,N=䪫͛˓O>)vZM4qUXOvNFDz,qo%\Qq{-+[VvLgʎfY٫˲e,+szee>.`K#7eϑ{~(]BFuX-7_Vig2?^`=V%^Xio4h@8/z=勗Ƙ%+n kN˔0`\Ǝڎg].R:ujJ#w̘1rWG-.x1y| pp;-vT"f͒^&N(kb,Y"_~)&]~0O=Tرc)0rH_20w\3giCŊ.j*=餓.wt-;v|*Hq#=Z?t;XxEK D]2Of|N8`` c!ܲZɴ3,4O(񔎑atk@> **Λ*dhC@Igkal|΃L:v{Ýܾ֣(xCtoJ$鄧Fҡe,s A@'38k- !LJ:L7eYartC@'cPkE~@@I'8Q |J!"ē,b?WuY%.HovfElz.z)~ٮ?m9юrt2 k!bD '.\(ҽ{wa;%DN6VNՑzB/7[+Zjay )cAX K6P KǮ4Rr|^"'.Ns̟?ƍ *U2GOӦMW !8| j]&Y҉4u ;蠃UyfYzwtg&,е믿LmvX[|7^{rۛnt <uѝB#n3XeA ,}wLכsDz,/ܫW/;*n,'=:$\?˵G/N:Ї/첋E:ɆdIX 6%=^n̗t aN=K:֓|XMg*3RG`Rˑ. jԨa/O.~mLnF d, إC:‹^Ʋye?S;SL6Mڶm$-]l>3Cr7BY qpR.͛7ʕ+ VN6mdu kO,["ؒ}6~x;*'%x /nҥTRŐЏ?X&8ϝ Ԍ33_`xywΝ;˼y/ *$4OxGh!k!A|5Jԯ_xmݺij홢K/TyN߸te͘mHei*T ^<ӭ[7y)ȑ^5k s"ㅸsgeD/* $W&9"an/2Y7H!0x9<ݲٽcpHXK yL,yG8ѝkZDHǩWΙ $cgxwLtO g3H/^,ܘ|,Cwm34V`c.``u3.Kk駟0a~1ީ ^{L'x0n#XիWQ40]A:A:EEEf9H] |xxc=0ak Gȇ & |Fxa8˿J5C:1Dpa(5-X@xa1,cyn/thC<\6px;JbD:8 A:_PPA$şxnʇwP`{~g5³ o6mdV. r>E`תU+9S'.7I'\΂`X6'3Ⱥf DRPP 9`!Ыڜkt3D/n,%dZI%(rK'>.X\ XρKqX~:,!&fY#8B%{*qt."থ >D1pe ʈY Lc z2"A: )7kH$SFD SI@djg'^X:2M\-ׯ_Uk~PT(鈙Vi8]C,x47IRl6lX:"O^~m|,t!^քXGtl>J<᥹\ &suWG4KD?݇dH4Vlɷ\!R+ұ|XG?3$;!ij =srtX,5BvHvhH%ԱӒ9@н鸹Z29ZZt9ӃH:lG@'>>(xHȣdL{$CmZC(񔎑atXJp k%2<J <\6vpP:O*hE ;(l=cޢE %c&ZP≏(J:7CcJvL'R*k-ٳgK,g[p 8<6'˲IJ#Ć-J L˲n {_pڲď@e%Z&<_6mdΜ9RRt`qMwXݲ2ƲJں[JmY,KXթVC=Tϟ/nYՙ \,+1],?%ݼ%VVF"aq&uLL/u%qtF~ƃOAWeyuB*u?Iʔ[%NVCj˲̆N7M4",<{e>sȁG&M|HasA Owx2]/Vŭ+%x$CAAAdt ћed_"p!!qђ5NHge '>TW* @0wQ^rydP>Y? os<蠃'Ύ ?e_1w≼eӦM:K.\׊gҮ];K"^s=@*Xv>}|'hm'?!T xx?: kϛoIEs*g\=؇0kx`d||}*y/`yѣd;Z's VԩS=#(B /I YڗU*D-l]|Ųq(94JHVdƝx̘1 ]p(H-VxŊ,!Xmɷx%wO>rgbdhl 8P>y,l@}[-`) @>n=rxA93zIDAT>(NNMRRC} vLMK1A;,/B`9J<@Lt |駥dE yx֯_/\wu>W)! Yi]=UINyXt"_|E%4"<[&MJPrO;˗7fn` ^쩖D9,4t$d>?աē#4믿!I*q($zv *l{O錕vB ?HIFB(ӨQ~a(VyQ~' *+8;|? QE;EDx ygx?? ~Gu؆6,:馛z|bX@ /nxlJbB:8,[0O `RPI<-S 8۰h9S~D_4ӉSI(ew}>($(;&\( ׭[gb,TPX>~&!1׃Ow8ZѣGKJ 5NHO>DHL6Q5jtI _Ɵ)= (Zz.)xt7s=]&=B ~^@-y{![e&Orx%{ܸq ;&UP3+X@ilbs(Sǧʇ6%dRLaR75|@9pS[jݺhOj% 2g8z2\mFS&L0{'i D,Y"v[ آ=`Ynz4s%.jĉBD%|*BehX|3œٳg sv*VE-ҫ|z)Mw7Tw+`M[f)S3MI- ޯWܺcjdrnvUW]` ͦlC`¼&*3bRBtTTK' u̙? s4PV`X@8eСCiذaQ,:qDz,ERT) f$;&oF*Jrjo3&^NF+@etm>c=~ɍq)7|#O{8[( 3BeLfZKt*((H$k(dvY%wqlܸQϢ*Zu4h̚5K~h|O:wQIAAlN'^zӔx|XـK3 @ vuWc)NZ"駟gwtl.vo %܍wL[fTR)ׯ|Q¬UVPqOEIi%tslro7dtŸW{ƧzJyɥ^"Xѽ!ȃ.Luך|e]uWH`> kΝ;)3 )x!VӘ\P.3f0KJ3T"н{w>cǎŋ]oG4|(cG|aWm͆2to5i$UlJ<>쳏L>]xS5U- Ǚ -GfO , _ȧ(J<{KFJ-^5k<EwteJy?/),,*")hēh,¤=dWX!FdZW`A>PY@6svv|Յ|<$ @B xrM7dZOj׮-\prmٲvilO"pO2x($VVVMnp0nܸ,jS~_K.v%jH'!A}Mw$B5j4iyAΩ)  z&+RrdU~^.6VE03!C'xL4eSLԩu ,dŚްa\~jlCb}%B>9QɍHF;Lqɔռ(7X;<"Y~m i|Jڐ>tJUe<0^%YviZ.fwWAA@>qT]nIr B˘/V:HeX@9=\˶oذa^VSxrv֫WX>t{9"m[)Su6,42a8 (1/]~4@'|3ӧOǪjDDf"όCe]Am*/d+񸅤4h F>>HU<,ԅ5+uqF 0ޓ ˃.?FԛLPImذ!X̙* "t. OSO=zgrl^6R lޅ.sڜ88˲ФTŏAOe~ȧC2o޼m6+Q~dѳ>[۶mhQB /nNq*Or)ۍ $'Ų,, ' ]1,dYZ[c.73(hWH:|ү_M @zO>h&9SϽHUR˝~a痚_3({@"lvCP':9vgȣ>*?C-Ӧ(F?1fdڦē Z /zxA)<Ю];뮻̘o?U#E Gp6T ;T}ԣēJ9v0xm6+Yo駟䯿JBDA&LWZ]JPc=&/dȐ!;L'k('|7l^w뭷c< $Gy#7?SF!'xT^]ڷo/9IY)%(SŬG'&4p饗5k0^3;`^7n^6pw}׈)_9/SY7B*,,#8BoرɟȏCgȱlٲrQGɌ3Wn|0VW_h>J6m*\_r%RvmIcIDAT$Sz~0y֯_o9;/ƍf͚|j ԵkW {-/N3Đejًh( ҩ_0nբEPz6OD L@]vl.%hy!e H`|/ /4]Nn {ʔ)V6mEͺxG6[cIB~>)Sڏ?sɍ7hVnֲeUk̙oxE ,@?6nj#!jVRg'0ba ybmb%}RJcA!g}fu_~ŧ~jgH&PW^'o؄tUauE$_|!|D\"sgWkЙ'|'-Me?'OPnfPD^| !, ,(g8HsH{mHk;ُ?hG8BeS,ZSO sYPBHoα̉O~!dBL-J0qAa\b j;b۲e/DդI,dv+V K>EaO"~f!d'1?CX` r ݍrzR 6}%KGBY55]ZZus9}ƃ.L#rǑ8C)`]RW6(@^W^)ݺuY+"W]uU(5Dc?:^zQ3% c`Q9<׾K3ibbl-kYV.L4@躺ۄxfO"Ƃpe!kFZ8̚5K 1UVB>'!5!1vy>' Ewٳ'$x-Rw'R^ 10n˜I~l"/D" 2wsG`=e"x:]gB%=VȤ;/6x3  :*א*xA֭ȕ;X;̫ | ֮]kV1 w sl h&1CH䍆1+.0f\cYB 52 Nd1a VTe xUG\%HD:! t撚P]^#dϩē>y+,Lzcϓ"V5^p,]CEx|1.Aa1$_rھ+ %" WSJ&+ g~ c/:aL~v"|G̣#@|J@j9)^x9!1UZNPJ"u'ٌߺ#-%hJ9u˜OE5"Ve bR &f_V N\*bX=^c|&g[%r=)VuB`\&EY+ē5s[nEXSN71뚕7XKz,uBpGp)VUx;WJ, "SImf͒_|֭S{~T^Tѹsg1=p߰aU$((( Yվ)ؑe[VJ< CF`w3g˅uü/{aDاOc9XUlᘬ"x@ē Zsʗ//Zjx6j #rw4s~ ^X`=o,m`)xL v͐ϛo)i a@< RJ2rHYblݺUʺ}V@2>I%O`U"PBaJ' o!LX̦!8*!Qu(񀂆@ K.3O<;6:MI<˲\(.;r!r<|M5_]OJ*ꖛO/dEIDAT f9dGyYJ7Q>haE U#&%PH?pC>Qu]lC-(O$6 63=\tESOEfk`N.P≇:ʐsA gY Z<1U-Zh!K/T^{lz|!MA^ҐOԪUː+Z3'ڞl[lDCNk{-V̦)"`XX<,L2EX Wl>H}lyy<VA J8(q>w}'l<8nܸ9 ?%PАWj, UϭՖdcǚ{O؂wddb^HlA7=\1c@>J4߲,QIv.V>M7Sbs+2JK.MS[uwJ3h]w&ʚBe:5 PHQFIA')4s"$.ȐX-eeoYw5֭[1\-˽I?*]^q63gT\Y,+v~YV>Z^~e9MX,+,x@A"|f>K)mֽ#Aŀ %P`#R8pfW.]/,%`5mxFT<C JΝɂAjOVēV[!^{ԯ__o<]Ajs)Jb!*8`.6 |@4W-@ܦWR'o6Kp%]tI~G/rEZ6*<9rtAfQH&j$Gp?~/|RPP ?tI`&Xխ9o,lJJv턮?sQeVMUuQҫW/hqR?寻:nEPbOx|E[n1/JxܻLw'K/I v*m۶ŋ |P>zе}RTT$K.5{キ.朅}?b0a[rGdK8PmuQjY7ߔ;CL"ȠA cц/%l?`x=4!n,]m Gec,nayL8QjԨa;˜DT^]7o.--[Ǥ/v6=Czv veYǏcl++qdݳ^xG'|RC C]ik׮5BK$ڦhu!I6l`+atgXfsbbju[ Q@w\☍O׫WX1X26m+;V~w@͛9, seYb6X`ׁߋ3@0t/_8wiO|6`, -U=;Am0o!, GDn7vHhjժh͝;WDgϞ-1|㛣& |Lz*jsy8i\c9F*Ud!7s駟Oc;0u]e%hB HB+J<> B!pm~eb(()VPމkE&2?իW?s&{L?%?-1c>X;x{ s"H7ix JW*nlUG}TNj&y0x1915k ~`)Yg򱂫5l ңF+T'~&æ) a^ݑ_ _J<1SwV8qΣeYO?yƄOOg%KuֺuFr(TPA O8<ҘpdgZ0)hx6l0&Ĝ",\jyLPE~ J<~#O!0k,2`KyUTϳ%u) ._\SN9E6m*X_S꒷@>|E"q HJbD>6JMP OkЋU^8]Y^+0IDAT+WF[4X-Z H8%hO)>B`}ӧ,fX<ՖQ '#h^;˖-+8ZJw߰r@:B'On63=#X2`(޿J##88of\YZ">+逃(hNa6myr-)E-`s {#-h$o 4,"sZXL:8dC>^x<#dd !cɨ%G#*d~\vdiEy#, ]bӒao֐SɩhcB"DYfi׮m2˰d"IK닒U=O%Tr@@xץo߾lIܰaCaڵks ddrcOoC`Ŋrg_,{--[37XduBx򂛦 %Gp{WLzꩧ V͐!Cn&&tr.T"(ąG!y2]l{N#?(P!ͤOPLE(#@wY׮]eܹI, Q9ɔռ@2($U|e̘11II ,1jK #'jT\@@U"*۸qmK ދŔGbfr;AJ쳰lWacAKʕ+'?SRJq$89I293Ap V%*GPGf͚jժPEUV5jv%D$ PqQd ƍjYd 졃zO>dMdrg.Gpˀ8E iFf͚A+T"O z:8蠃d„ i5A^Z"%h"@ J[*A\~d2@B($fR@nC d&?M6MjժLQͫ$ORpifEp %ݖ/_nHԮ];!tѵ6bԩSX^(n#q[i(`Psjx㍦9䈅CnXZIt4xPewvenU:EEE VBIŊ.-[ԩSj^3OPAe n)wqȌg_}nx-[&ƍL(B@'C@k5@6lXXU@:cXFP2OjL!PG5kq#L#`OEd H¡*8!ڎף"5J<^# "uCV%䌏v"%J<^@j˺h|nxm0YsEkxFX+YFy嗅:٤C:q(x *T@>N qzd%Lu(YD p"U"Z%/Uٞ!E (ީ技"%@6UZPxwTcE@POo*(@P = ƪ"(QP F*"xWȪ\E@PlOz("5J<^#E@PP #."d%c5*"(;,K,+moeY453O֚hGr#y饗W^O?ԓ ?sOPE'(FE`r 'HժUSNƍ/M4z+%ŏ;8_~w}'{~ҳgP|i'7oe7G7{'w(=Z\(ѥhuqrI'T *J<.9`}z_ˬYzWeܸqrJi֬Z*myYtGFٳg!eʔ/j1c!"~m(=Z\(ѥhu@ 6tTxzT 0uTٲeqҡC]b ̙#']e>c#{rᇛD~O.!yO?HoZZ?P}P-|ƍf*U2GOӦMo߾r;uteIZ䨣^zɦM8/:@+妛n԰b y /;ϐΣ>V+xĵkN&M$L,tKdȑϗ5jV EUG>}dȐ!9r<3rʦs5INg~=7J3y7Mܔ)Sd…ffРAv y9zhݻ7qßi^yWPA7o./|^{`Mq뭷Jǎ%Zθ),a3ȊUiv١O>RbEш#d„ ֐q=XZ&|!@ U`-r=g-xj}ҥKR@B?Q> d~^yuV7Ҝe~iꫯ .E_K$Yi;a6YƎ*9;rgȞ{^EF,=f%⯵wQ:w,3C5\#XC36l R3[Tӧs#2Md,6bdu?'S䁳3.޹oFJdS:!(d>E~gyF/|6׉u]G2Ѕ 89s|d)5>&?e@] _uUB6l[l@t"OduOt*JU(NB@ҜZֶ ܨOjS iIDAT牦"DвeK3~TVdcܹspf@4&S)?GydXydD1OGgx'sNIQG‚!L@7Ջ)9j-xr~jk\D18+R4_Ldp1 h+hBxc EIn6,N;M ɮ%*;S;ir嗝s1͍=,^O SsIL"՗qܥq'<@7sTpC9@Q0o3xђ7Հg]io%@BXiw8y8/tk梋.2sDzjԩqg{Cē$`]*/ryLsEKxDWe+>B0LDP,R/P`dM:!Sxt7TE7n,NAAA뮻N @P0Z"i" '~(2N/P]]:CP%`E@POvE@țOjm"(@@APE oPɛ[zC"(n"&*KPETxJH3("`#G7PqE("0J< CE@P@@ /C5PE 0(V"Jޥ9s _xҲf42z=3W+  ,ZKPokҎl ~gu>RACxR6lXԠcN:IqUV5"J<.bo)~lذAn[FKzS&m„ t~^yS~2~x9A2fa'|R7o.ժU֭[ƍ)3#7|#=sϕ[oU{#7uvmsw4gt3"+~- hH %pRB`2|c]|_lYC8߿ҧOرcuf$vUWiժys1O,q~z;w96nXƍ'͚53zQ$ޤAXw/EzAy ĉyB '|btꫯLNO?`ߚrwߙ(iӦK.Dj׮-O<ԫWO~'jٲ7s׮]޽{oDT^]8Gp. ?ßt #ē:vZ`]\p-|a2` .2zh5k :TȃAg}6?(o/X/>,ZtYAl G?eŊK z_u#ߙu~wdȑrEIQQr-/ʕW^)|ٿ[;,0]ּ/B;*!&IX(3gΔ~z 7{CQ V&jaa!38COeYҾ}{{`T"9@O'4=O /'5M"|q3F-a۶m+X  t9q8K/5t~z)*T0W{챇DI&93h @|hH'Md{eg1/!BNv=\f.?b(k{5:$, N$K/ ̏S]|o#<¥ 9DD?qC@'=t8cM7VUk>Wt͚5bŊ\,첋 E@4ŇwYTd`IC=4,uv3]n|_trK.]B' iO>d#I<=PPF M""9H0VĈ+|#rǾ%KN;Mh 1V6C$Z" cʣ][S¥)V7eń2ΰuV@]we!,.]7])bƮ } Y6F| o邳DGo1uxRNK,"^) O+ye1i E[Z56yd3f¸fϞ-\sM]j(,!$YL *clb_9;>|p=ˍw"]ȦemHx܎<ȯ}xT%;N#bߩ򫯾j.O=Ts8^|ه%D\7/9d^ta1>eG&e?ۡ~RPP`_.LHL'P Vms8UPHq 'Ay\C $H'\o^VG̜/1+n޽~%#u917hqӅ!8])C>SND bX ]y7x Aq/ k62<t5j@$}  8 ]H4qN@CJ" `Ǒ8gHH<=xOKyQb @&Ĝ"a܁ndu.AKJF.y+?CX6^&cUWZ$? 7' gJ%ଵ(yB9'IDAT!Hl|"r>ES]B\Cu5ԩIDAT=zKcIENDB`